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WIP搬送のインタフェース，あるいは，AGVのような当面の個別設計ビークルとのインタフェース，に有効である。このスタンダードに採用した寸法は，カセット搬送同様，枚葉搬送の場合にも適用する。
本仕様は
4 This Standard can be applied to all through and blind vias as they occur in any flat surfaces made of glass
Alternative methods can be used as long as method validation per SEMI C1 has been demonstrated
C00354 - SEMI C3.54 - シラン（SiH4）のガス純度ガイドライン Revision:SEMI C3.54-0200E (Withdrawn 1011) - Withdrawn WIP搬送のインタフェース，あるいは，AGVのような当面の個別設計ビークルとのインタフェース，に有効である。このスタンダードに採用した寸法は，カセット搬送同様，枚葉搬送の場合にも適用する。global Gases Technical Committee2011912global Audits and Reviews Subcommittee201110www. semiviews. org www. semi. org199720069 : 2011 Referenced SEMI Standards None.
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