S01600 - SEMI S16 - 製品寿命時の環境影響を削減するための半導体製造装置設計ガイド StdTpc-Cluster Tools 本仕様はSEMIセンサ／アクチュエータネットワーク（SAN）スタンダードの一部であり，PROFINETスタンダードを基本とした特定の通信プロトコルを定義する。本ネットワーク通信スタンダード（NCS）をSEMIセンサ／アクチュエータネットワーク・スタンダード・セットおよびPROFINETスタンダードと合わせると，半導体製造装置においてネットワーク化されたデバイスの既成の相互運用性に対する業界特有のソリューションを提供するオープン・スタンダードが完全かつ明瞭に定義される。

本仕様はSEMIセンサ／アクチュエータネットワーク（SAN）スタンダードの一部であり，PROFINETスタンダードを基本とした特定の通信プロトコルを定義する。本ネットワーク通信スタンダード（NCS）をSEMIセンサ／アクチュエータネットワーク・スタンダード・セットおよびPROFINETスタンダードと合わせると，半導体製造装置においてネットワーク化されたデバイスの既成の相互運用性に対する業界特有のソリューションを提供するオープン・スタンダードが完全かつ明瞭に定義される。

This Standard applies to data exchanged between all PV equipment which provides a standardized description of interfaces for horizontal communications

This Standard can be used as a guide for equipment manufacturers during the design and testing of their equipment

SEMI M56-1018 (technical revision)

S01600 - SEMI S16 - 製品寿命時の環境影響を削減するための半導体製造装置設計ガイド StdTpc-Cluster Tools 本仕様はSEMIセンサ／アクチュエータネットワーク（SAN）スタンダードの一部であり，PROFINETスタンダードを基本とした特定の通信プロトコルを定義する。本ネットワーク通信スタンダード（NCS）をSEMIセンサ／アクチュエータネットワーク・スタンダード・セットおよびPROFINETスタンダードと合わせると，半導体製造装置においてネットワーク化されたデバイスの既成の相互運用性に対する業界特有のソリューションを提供するオープン・スタンダードが完全かつ明瞭に定義される。NOTICE: This translation is a REFERENCE COPY ONLY. If differences should exist between the English version and a translation in any other language, the English version is the official and authoritative version. SEMI SEMI Environmental Health & Safety Global Technical Committee2012618global Audits and Reviews Subcommittee20128www. semiviews. org www. semi. org2000620073 NOTICE: This Standard or Safety Guideline has an Inactive Status because the