F08700 - SEMI F87 - 1.125インチタイプ4ファスナー構造サーフェスマウント型ガス供給システム用3ポートコンポーネント（MFC/MFMを除く）の寸法のための仕様 Revision:SEMI F87-1012 - Inactive There is some confusion in

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This Guide is intended for use with other practices and test methods

F08700 - SEMI F87 - 1.125インチタイプ4ファスナー構造サーフェスマウント型ガス供給システム用3ポートコンポーネント（MFC/MFMを除く）の寸法のための仕様 Revision:SEMI F87-1012 - Inactive There is some confusion inglobal Gases Technical Committee2012830global Audits and Reviews Subcommittee201210www. semiviews. org www. semi. org2004320123 1. 1252 34 308 kPa (44. 7 psia)50 slm20 C 3445 kPa (500 psia) Referenced SEMI Standards SEMI E49. 8 Guide for High Purity and Ultrahigh Purity Gas Distribution Systems in Semiconductor Manufacturing Equipment SEMI F20 Specification for 316L Stainless Steel Bar, Forgings, Extruded Shapes, Plate, and Tubing for Components Used