E12200 - SEMI E122 - テスト装置の特定装置モデル（TSEM）のスタンダード StdPbc-312 SEMI E90-0312 (Reapproved 1218)

SEMI E90-0312 (Reapproved 1218)

SEMI E1-1110 (Reapproved 0816)

この文書の目的は，半導体製造装置の中で静電気電荷および電界に起因した生産性への悪影響を最小にすることである。本文書は，半導体製造に使われる装置が静電気的な両立性を確立するためのガイドである。半導体工場全体の静電気的な両立性は，SEMI E129に述べている。

The number and size of localized light scatterers (LLS) on silicon wafers are specified by customers of silicon wafer suppliers and are usually part of Certificates of Compliance

E12200 - SEMI E122 - テスト装置の特定装置モデル（TSEM）のスタンダード StdPbc-312 SEMI E90-0312 (Reapproved 1218)Global Information and Control CommitteeNorth American Information and Control Committee20021122North American Regional Standards Committee20031www. semi. org20033 SEMI E12220037SEMIE122. 1 200330303SEMI E30. 3 TSEMTSEM Subordinate Document: SEMI E122. 1 0703 (Reapproved 1109) TSEMSECS II Referenced SEMI Standards SEMI E5 SEMI Equipment Communications Standard 2 Message Content (SECS II) SEMI E30 Generic Model for Communications and Control of