F02600 - SEMI F26 - グレード10/0.2　有毒特殊ガスの粒子に関する仕様 Revision:SEMI F26-0697 (Reapproved 0712) - Superseded 本安全基準是由全球環境、衛生與安全委員會核准。此版本在2006年1月16日由全球稽核與檢討次委員會認可及發行。並在2006年2月於www

本安全基準是由全球環境、衛生與安全委員會核准。此版本在2006年1月16日由全球稽核與檢討次委員會認可及發行。並在2006年2月於www

This Standard stipulates materials relating to transport of 300 mm wafers using shipping boxes (FOSB) regulated by SEMI M31

specifically for serial identification of flatted and notched silicon wafers

SEMI G89-0211 (Reapproved 0318)

F02600 - SEMI F26 - グレード10/0.2　有毒特殊ガスの粒子に関する仕様 Revision:SEMI F26-0697 (Reapproved 0712) - Superseded 本安全基準是由全球環境、衛生與安全委員會核准。此版本在2006年1月16日由全球稽核與檢討次委員會認可及發行。並在2006年2月於wwwglobal Gases Technical Committee2012618global Audits and Reviews Subcommittee20127www. semiviews. org www. semi. org1997620033 10 0. 2 8 105 Pa 88 105 Pa 8 NH3 AsH3 PH3 Referenced SEMI Standards None.