G08500 - SEMI G85 - Specification for Map Data Format Revision:SEMI G85-0303 - Superseded MSAの実行については一般に受け入れられる正しい方法はないが，本ガイドで説明するアプローチは技術資料（§11を参照）によってサポートされ，ISO 5725-2で提示されている方法に一致する。本ガイドに記載されている手順は，MSAを実行するためのアプローチについて記述し，さまざまな用途に対して機能しなければならない基準となる基本的な方法について記載する。特定の環境においては，他の方法が適切であることもある。

MSAの実行については一般に受け入れられる正しい方法はないが，本ガイドで説明するアプローチは技術資料（§11を参照）によってサポートされ，ISO 5725-2で提示されている方法に一致する。本ガイドに記載されている手順は，MSAを実行するためのアプローチについて記述し，さまざまな用途に対して機能しなければならない基準となる基本的な方法について記載する。特定の環境においては，他の方法が適切であることもある。

This Document provides an overview of these layers

This Document defines a test condition for mono-dispersed PSL challenge test

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G08500 - SEMI G85 - Specification for Map Data Format Revision:SEMI G85-0303 - Superseded MSAの実行については一般に受け入れられる正しい方法はないが，本ガイドで説明するアプローチは技術資料（§11を参照）によってサポートされ，ISO 5725-2で提示されている方法に一致する。本ガイドに記載されている手順は，MSAを実行するためのアプローチについて記述し，さまざまな用途に対して機能しなければならない基準となる基本的な方法について記載する。特定の環境においては，他の方法が適切であることもある。NOTICE: This Standard or Safety Guideline has an Inactive Status because the conditions to maintain Current Status have not been met. Inactive Standards or Safety Guidelines are available from SEMI and continue to be valid for use. This Document describes in detail how the data items that relate to electronic mapping are to be represented in a file format. Although the examples given in this Document are for wafers, the map data format described can