F08500 - SEMI F85 - Specification for Dimension of One Port Components for 1.125 Inch Type Four Fastener Configuration Surface Mount Gas Distribution Systems StdPbc-0226 装置組込み計測モジュール通信の仕様は，大口径基板の処理を前提とした生産装置に組込み可能な様に，測定あるいは検査モジュールが提供する概念，挙動，サービスをカバーする。ただし，小口径基板の製造への適用を制限するものではない。

装置組込み計測モジュール通信の仕様は，大口径基板の処理を前提とした生産装置に組込み可能な様に，測定あるいは検査モジュールが提供する概念，挙動，サービスをカバーする。ただし，小口径基板の製造への適用を制限するものではない。

Health and Safety Guideline for Semiconductor Manufacturing Equipment

SEMI E5-1000 (technical revision)

8 危険エネルギーの切離し

F08500 - SEMI F85 - Specification for Dimension of One Port Components for 1.125 Inch Type Four Fastener Configuration Surface Mount Gas Distribution Systems StdPbc-0226 装置組込み計測モジュール通信の仕様は，大口径基板の処理を前提とした生産装置に組込み可能な様に，測定あるいは検査モジュールが提供する概念，挙動，サービスをカバーする。ただし，小口径基板の製造への適用を制限するものではない。NOTICE: This Standard or Safety Guideline has an Inactive Status because the conditions to maintain Current Status have not been met. Inactive Standards or Safety Guidelines are available from SEMI and continue to be valid for use. 1 Purpose 1. 1 This Standard establishes the properties and physical dimensions of one port components for 1. 125 inch type surface mount gas distribution system. 2 Scope 2. 1 This Standard includes common requirements,