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orgで入手可能となる。初版は1995年発行。前版は2007年3月発行。
The properties of the films depend in part on the properties of the substrates used
実施すべき表面特性試験は，ここに規定される。また，これらの試験を行なうための既存のスタンダードは参照すること。
SEMI MS2-0212 (technical revision)
P01800 - SEMI P18 - ウェーハステッパーのオーバーレイ能力 Revision:SEMI P18-92 (Reapproved 1104) - Superseded orgで入手可能となる。初版は1995年発行。前版は2007年3月発行。NOTICE: This translation is a REFERENCE COPY ONLY. If differences should exist between the English version and a translation in any other language, the English version is the official and authoritative version. SEMI SEMI Referenced SEMI Standards (purchase separately) None.
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