S02300 - SEMI S23 - 半導体製造装置で使用されるエネルギー，ユーティリティ，および材料の保全のためのガイド Revision:SEMI S23-0708 - Superseded 本スタンダードは，Information & Control Global Technical

本スタンダードは，Information & Control Global Technical Committeeで技術的に承認されている。現版は2010年5月21日，Global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。2010年6月にwww

SEMI E84-0699 (first published)

メッセージサービスは，メッセージが内容として持つデータの定義と，交換するメッセージの識別を含む。しかし，いかにメッセージを交換したか，いかにデータをメッセージで表現したか，そしてメッセージのストラクチャ（構造）は含まない。この追加の情報は，メッセージプロトコルに含まれている。

and adds Prober Job state model to GEM Standard requirements and capabilities

S02300 - SEMI S23 - 半導体製造装置で使用されるエネルギー，ユーティリティ，および材料の保全のためのガイド Revision:SEMI S23-0708 - Superseded 本スタンダードは，Information & Control Global Technicalglobal Environmental Health & Safety Committee201123global Audits and Reviews Subcommittee20113www. semiviews. orgwww. semi. org2005320087 Referenced SEMI Standards SEMI E6 Guide for Semiconductor Equipment Installation Documentation SEMI S2 Environment, Health and Safety Guideline for Semiconductor Manufacturing Equipment